先进光学技术 助力行业发展

　　——奥林巴斯亮相SEMICON China 2018

　　随着计算机与网络的发展，第4代移动通讯技术的普及，数字化大大的方便了我们的生活。而数字化生活进程的背后，隐藏着半导体产业的巨大功勋。作为数字化生活的幕后英雄，半导体产业的发展一直广受关注。2018年3月14日至16日，全球最大的半导体产业盛会SEMICON China 2018在上海新国际博览中心再次拉开了帷幕。展会汇集了超过1000家的参展企业带来的最新技术和先进产品，为中国半导体行业的技术交流与合作提供了专业的平台。作为全球半导体行业光学显微镜的主要供应商，奥林巴斯（中国）有限公司携多款半导体行业检测用显微镜隆重出席了此次展会。

SEMICON China 2018奥林巴斯展台

　　卓越精准测量 快速数据获取

　　上个世纪各种半导体器件大规模的发明，对现代的信息技术革命起到了至关重要的作用。进入21世纪后，全世界都在加快信息化建设步伐。源于这种需要，半导体行业迎来了更快的发展。而行业快速发展的背后，少不了研发、生产及品质保证人员对良品率的提升和可靠性的保证所做的努力。2017年11月3日，奥林巴斯正式发布的全新3D测量激光显微镜新品——OLS5000，为半导体行业带来了更专业、便捷的观测体验。此次展会上，奥林巴斯首次公开展示了这款明星产品，为到场观众提供了近距离观摩的机会。

首次公开展出的OLS5000显微镜

　　现场，工作人员针对产品的先进技术特性进行了详细的讲解，并回答了观众提出的各种问题。据工作人员介绍，与一般显微镜采用卤素场光源不同的是，OLS5000搭载的共聚焦技术采用了短波长激光点照明的方式。这种照明方式使所有通过焦平面反射入显微镜的光线都要经过微小的针孔，大大减少了其他光线的干扰，提高了图像清晰度。利用OLS5000可容纳12英寸样品的超大平台，可测量深度高达25毫米凹坑的超长工作距离物镜，用户可以对结构复杂的半导体样品进行观测。此外，OLS5000的数据获取和处理功能也极大地简化了用户的工作。OLS5000采用计算机直观控制，其搭载的扫描算法在对样品不同层面的扫描和计算机处理后，就可获得样品的3D图像。无论在IC design、Fab制造厂还是在芯片的封装与测试，表面贴装等环节，都可利用这一特性，全面观测和测量样品的形貌，进行品质控制和失效分析。OLS5000还具有自动数据采集功能，用户只需在放置样品后按动按钮，设备就可以自动工作，省去了复杂的设置调整工作，有效的简化了工作流程。

　　尖端光学科技 推动行业发展

　　除了最新的OLS5000显微镜，奥林巴斯展出的显微镜解决方案DSX510、STM7、MX63和Auto wafer loader也吸引了众多观众驻足。奥林巴斯全新的操作软件，令用户友好性和使用体验大大提升，广受好评。为了方便用户的操作，奥林巴斯数码显微镜DSX510就采用了便捷的触摸面板操作，即使是首次使用显微镜的用户，也能轻松快速地获得高质量的图像和精确的测量结果。在放大图像观察某一具体位置的细节时，用户往往不容易掌握被观测部位在样品上所占的位置。而DSX510的宏观地图功能会在一个单独的窗口中记录下全视野图像，方便用户发现目标。DSX510还为用户提供了各种各样的观察方法，只需轻点鼠标，便可在多种观察方法间切换，呈现满足观测需要的高品质图像。而动态范围成像功能（HDR）更是赋予了DSX510精确调整样品表面不同区域亮度差的功能，利用这一特性，可以获得更加精确真实的图像效果。

奥林巴斯展台吸引众多观众驻足

　　此外，现场展出的STM7采用的当前最先进光学显微镜中使用的无限远校正光学系统，保证了获得的图像具有高分辨率和高对比度，并最大限度地消除了相差，确保实现对微小细节的高精度测量。BX53M采用的模块化设计，为工业应用和半导体监测提供了多样化的解决方案。通过与奥林巴斯Stream软件的集成，BX53M为用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程，极大地缩短了工作时间。参与展会的观众在观摩了奥林巴斯展出的显微镜产品后表示，奥林巴斯的显微镜在业内凭借卓越的成像效果、简单的操作和良好的人机工程设计拥有着良好的声誉，此次近距离接触到这些产品，更深刻地感受到了奥林巴斯显微镜产品的卓越特性。

　　自1920年自主研发了日本第一台光学显微镜“旭号”以来，奥林巴斯始终走在这个领域的最前沿，为半导体行业提供了精密、专业的显微镜产品。与此同时，奥林巴斯植根中国市场，不断提升企业在技术服务、行业交流和人才培养方面的投入，为中国半导体行业的发展做出了突出的贡献。未来，奥林巴斯将继续为中国半导体行业提供更多专业的产品，为行业和社会的发展贡献企业力量。